Τα αναλυτικά όργανα SIMS και ToF-SIMS είναι πολύ εξελιγμένα και πολύπλοκα όργανα που χρησιμοποιούνται για την στοιχειακή και ισοτοπική ανάλυση των υλικών.
Η χωρική διακριτική τους ικανότητα, δηλαδή ο όγκος υλικού που καταναλώνουν είναι πολύ μικρός, και παρόλο που κατατάσσονται στις καταστρεπτικές μεθόδους, τελικά η καταστροφή του υλικού είναι μόνο τοπική και ιδιαίτερα μικρή.ιδιαίτερα μικρή.
Το όργανο της φωτογραφίας είναι το nanoSIMS από την εταιρία
